旋轉硅鋁靶
采用氧化鋯靶生產的ZrO2膜層具有高硬度、耐氧化…
采用氧化鋯靶生產的ZrO2膜層具有高硬度、耐氧化、耐腐蝕等性能。公司新研發的氧化鋯靶具有高純度(ZrOx含量>99.9%),低電阻,材質均勻等特性。最大長度尺寸為4000mm。